倉敷化工 KURASHIKI KAKO線性馬達型主動式除震臺 L Type 系列
L Type 系列 ．主動式除震臺 ．相較于氣壓方式，空氣的使用量少，所以具有更優(yōu)越的除震功能 ※LC TYPE完全不必使用氣壓 ．在高頻率領域也可控制
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．主動式除震臺
．相較于氣壓方式，空氣的使用量少，所以具有更優(yōu)越的除震功能
※LC TYPE完全不必使用氣壓
．在高頻率領域也可控制
LS TYPE
?L系列的旗艦型
?FB?FF控制具有出色的主動隔震性能
主要用途
?掃描型電子顯微鏡
?掃描型探針顯微鏡
?表面檢查設備等
LH TYPE
?圓頂萬象活塞和螺旋彈簧的混和構造
?實現(xiàn)小型化，不占空間
?適合高重心設備
主要用途
?穿透式電子顯微鏡
?掃描型電子顯微鏡等
LC TYPE
?提供垂直FB、水平FB、FF等機能需求的選擇
?選擇需求的機能，客制價格合理實惠的主動式除震臺
?無須氣壓源
主要用途
?泛用掃描式電子顯微鏡
?表面檢查設備等
LS TYPE
LH TYPE
LC TYPE
產品規(guī)格
LS TYPE
| EST-L4SR | EST-L5SR | EST-L6SR | |
| 驅動機構 | 線性馬達 | ||
| 控制方式 | FB、FF 6自由度控制 | ||
| 水平調整方式 | 自動水平 | ||
| 控制器※1 | 數(shù)位式控制 | ||
| 最大搭載重量(kg)※2 | 120 | 210 | 390 |
| 外形尺寸(mm) A | 200x200 | 200x200 | 230x230 |
| 安裝尺寸(mm) B | 180x180 | 180x180 | 210x210 |
| 作動時高度(mm) | 169 | 169 | 169 |
| 製品重量(kg) | 10 | 10 | 14 |
LH TYPE
| EST-L5HR-L | EST-L5HR-M | EST-L5HR-H | EST-L6HF-L | EST-L6HF-M | EST-L6HF-H | |
| 驅動機構 | 線性馬達 | |||||
| 控制方式 | FB、FF 6自由度控制 | |||||
| 水平碉整方式 | 自動水平 | |||||
| 控制器※1 | 數(shù)位式控制 | |||||
| 搭載重量(kg)※2 | 190?320 | 240?350 | 290?400 | 340?570 | 500?660 | 630?750 |
| 外形尺寸(mm) A | 220x220 | 240x240 | ||||
| 安裝尺寸(mm) B | 200x200 | 220x220 | ||||
| 作動時高度(mm) | 176 | 185 | ||||
| 製品重量(kg) | 20 | 29 | ||||
LC TYPE
| EST-L100-?? ※1 | |
| 驅動機構 | 線性馬達 |
| 控制方式 | 垂直FB ?水平FBヽFF 6控制 可選配 |
| 水平調整方式 | 手動式水平 |
| 控制器 | 類比式控制※2 |
| 搭載重量(kg)※3 | 25 ?100 |
| 外形尺寸(mm) A | 100 x 100 x 100 |
| 安裝尺寸(mm) B | 92x92 |
| 作動時高度(mm) | 100 |
| 製品重量(kg) | 2.5 |
| LS/LH專用控制器 | LS/LH專用電源 | LC專用FF控制器(選配) | LC專用電源 | |
| 外型 (WxDxHmm) | 150x130x62 | 180x220x100 | 160x250x40 | 160x250x50 |
| 重量(kg) | 1kg | 3 kg | 1.6kg | 1.9kg |
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